Polysilicon jẹ ohun elo ibi-afẹde pataki kan.Lilo ọna sputtering magnetron lati mura SiO2 ati awọn fiimu tinrin miiran le jẹ ki ohun elo matrix ni opitika ti o dara julọ, dielectric ati resistance ipata, eyiti o lo pupọ ni iboju ifọwọkan, opiti ati awọn ile-iṣẹ miiran.
Ilana ti simẹnti awọn kirisita gigun ni lati mọ imudara itọnisọna ti ohun alumọni omi lati isalẹ si oke ni diėdiė nipa ṣiṣakoso deede iwọn otutu ti ẹrọ igbona ni aaye gbigbona ti ileru ingot ati itusilẹ ooru ti ohun elo idabobo gbona, ati solidification gun kirisita iyara jẹ 0.8 ~ 1.2cm / h.Ni akoko kanna, ninu ilana imuduro itọnisọna, ipa ipinya ti awọn eroja irin ni awọn ohun elo ohun alumọni le ṣee ṣe, pupọ julọ awọn eroja irin le jẹ mimọ, ati pe o le ṣe agbekalẹ ilana irugbin silikoni polycrystalline kan.
Simẹnti polysilicon tun nilo lati ni imomose doped ninu ilana iṣelọpọ, lati le yi ifọkansi ti awọn idoti itẹwọgba ninu yo ohun alumọni.Dopant akọkọ ti p-type simẹnti polysilicon ni ile-iṣẹ jẹ ohun elo silikoni boron master alloy, ninu eyiti akoonu boron jẹ nipa 0.025%.Awọn doping iye ti wa ni ṣiṣe nipasẹ awọn afojusun resistivity ti ohun alumọni wafer.Iduroṣinṣin ti o dara julọ jẹ 0.02 ~ 0.05 Ω • cm, ati ifọkansi boron ti o baamu jẹ nipa 2 × 1014cm-3. Sibẹsibẹ, olutọpa ipinya ti boron ni silikoni jẹ 0.8, eyiti yoo ṣe afihan ipa ipin kan ninu ilana imuduro itọnisọna, pe ni, awọn boron ano ti wa ni pin ni a gradient ni inaro itọsọna ti awọn ingot, ati awọn resistivity maa dinku lati isalẹ si oke ti ingot.
Akoko ifiweranṣẹ: Jul-26-2022