Ibi-afẹde naa ni ọja jakejado, agbegbe ohun elo ati idagbasoke nla ni ọjọ iwaju.Lati le ṣe iranlọwọ fun ọ ni oye ti o dara julọ awọn iṣẹ ibi-afẹde, nibi ni isalẹ ẹlẹrọ RSM yoo ṣafihan ni ṣoki awọn ibeere iṣẹ ṣiṣe akọkọ ti ibi-afẹde naa.
Iwa mimọ: mimọ jẹ ọkan ninu awọn afihan iṣẹ-ṣiṣe akọkọ ti ibi-afẹde, nitori mimọ ti ibi-afẹde ni ipa nla lori iṣẹ ti fiimu naa.Sibẹsibẹ, ninu ohun elo ti o wulo, awọn ibeere mimọ ti ibi-afẹde naa tun yatọ.Fun apẹẹrẹ, pẹlu idagbasoke iyara ti ile-iṣẹ microelectronics, iwọn wafer ohun alumọni ti fẹ lati 6 “si 8” si 12 “, ati iwọn wiwọn ti dinku lati 0.5um si 0.25um, 0.18um tabi paapaa 0.13um.Ni iṣaaju, 99.995% ti mimọ ibi-afẹde le pade awọn ibeere ilana ti 0.35umic, lakoko ti igbaradi ti awọn ila 0.18um nilo 99.999% tabi paapaa 99.9999% ti mimọ ibi-afẹde.
Akoonu aimọ: awọn aimọ ni ibi-afẹde ibi-afẹde ati atẹgun ati oru omi ni awọn pores jẹ awọn orisun idoti akọkọ ti awọn fiimu ti a fi pamọ.Awọn ibi-afẹde fun awọn idi oriṣiriṣi ni awọn ibeere oriṣiriṣi fun oriṣiriṣi awọn akoonu aimọ.Fun apẹẹrẹ, aluminiomu mimọ ati awọn ibi-afẹde alloy aluminiomu ti a lo ninu ile-iṣẹ semikondokito ni awọn ibeere pataki fun akoonu irin alkali ati akoonu ano ipanilara.
Iwuwo: lati le dinku awọn pores ni ibi-afẹde ti o lagbara ati mu iṣẹ ti fiimu sputtering, ibi-afẹde nigbagbogbo nilo lati ni iwuwo giga.Awọn iwuwo ti awọn afojusun ko nikan ni ipa lori sputtering oṣuwọn, sugbon tun ni ipa lori itanna ati opitika awọn iṣẹ ti awọn fiimu.Ti o ga iwuwo ibi-afẹde, iṣẹ ti o dara julọ ti fiimu naa.Ni afikun, iwuwo ati agbara ti ibi-afẹde ti wa ni ilọsiwaju ki ibi-afẹde le dara julọ gba aapọn gbona ni ilana itọ.Iwuwo tun jẹ ọkan ninu awọn afihan iṣẹ ṣiṣe bọtini ti ibi-afẹde naa.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-20-2022