1, Sputtering igbaradi
O ṣe pataki pupọ lati tọju iyẹwu igbale, paapaa eto sputtering mimọ.Eyikeyi aloku ti o ṣẹda nipasẹ epo lubricating, eruku ati ibora ti tẹlẹ yoo gba oru omi ati awọn idoti miiran, eyiti yoo ni ipa taara iwọn igbale ati mu iṣeeṣe ikuna ti fiimu pọ si.Ayika kukuru tabi ibi-afẹde ibi-afẹde, oju fiimu ti o ni inira ati akoonu aimọ kẹmika ti o pọ julọ jẹ igbagbogbo nipasẹ iyẹwu sputtering alaimọ, ibọn sputtering ati ibi-afẹde.Lati le faramọ awọn abuda akopọ ti ibora, o jẹ dandan lati nu ati gbẹ gaasi sputtering (argon tabi atẹgun).Lẹhin ti a ti fi sobusitireti sori iyẹwu sputtering, afẹfẹ nilo lati fa jade lati de igbale ti ilana naa nilo.Ideri idabobo ni agbegbe dudu, odi iho ati dada ti o wa nitosi tun nilo lati wa ni mimọ.Nigbati o ba n nu iyẹwu igbale, a ṣe agbero nipa lilo fifọ bọọlu gilasi lati tọju awọn ẹya eruku, papọ pẹlu afẹfẹ fisinuirindigbindigbin lati yọ awọn iṣẹku sputtering tete ni ayika iyẹwu naa, ati lẹhinna ni idakẹjẹ pólándì ita ita pẹlu alumina impregnated sandpaper.Lẹhin didan iwe gauze, o ti di mimọ pẹlu ọti, acetone ati omi deionized.Papọ, o ṣe agbero lilo ẹrọ igbale ile-iṣẹ fun mimọ arannilọwọ.Awọn ibi-afẹde ti a ṣejade nipasẹ irin Gaozhan ti wa ni abadi ninu awọn baagi ṣiṣu ti a fi edidi igbale,
Itumọ ti ni ọrinrin-ẹri oluranlowo.Nigbati o ba nlo ibi-afẹde, jọwọ maṣe fi ọwọ kan ibi-afẹde taara pẹlu ọwọ rẹ.Akiyesi: nigba lilo ibi-afẹde, jọwọ wọ mimọ ati awọn ibọwọ itọju ọfẹ.Maṣe fi ọwọ kan ibi-afẹde taara pẹlu ọwọ rẹ
2, Afojusun ninu
Idi ti mimọ ibi-afẹde ni lati yọ eruku tabi eruku ti o le wa lori oju ibi-afẹde naa.
Ibi-afẹde irin le di mimọ ni awọn igbesẹ mẹrin,
Igbesẹ akọkọ ni lati sọ di mimọ pẹlu asọ asọ ti ko ni lint ti a fi sinu acetone;
Igbesẹ keji jẹ iru si igbesẹ akọkọ, mimọ pẹlu ọti;
Igbesẹ 3: sọ di mimọ pẹlu omi deionized.Lẹhin fifọ pẹlu omi deionized, gbe ibi-afẹde sinu adiro ki o gbẹ ni 100 ℃ fun ọgbọn išẹju 30.
Ninu ohun elo afẹfẹ ati awọn ibi-afẹde seramiki yoo ṣee ṣe pẹlu “aṣọ ọfẹ lint”.
Igbesẹ kẹrin ni lati wẹ ibi-afẹde pẹlu argon pẹlu titẹ giga ati gaasi omi kekere lẹhin yiyọkuro agbegbe eruku, lati yọ gbogbo awọn patikulu aimọ ti o le dagba arc ni eto sputtering.
3, Àkọlé ẹrọ
Ninu ilana fifi sori ẹrọ ibi-afẹde, awọn iṣọra pataki Z ni lati rii daju asopọ itọsi igbona to dara laarin ibi-afẹde ati ogiri itutu ti ibon sputtering.Ti oju-iwe ogun ti ọpa itutu agbaiye jẹ àìdá tabi oju-iwe ogun ti awo ẹhin jẹ àìdá, ẹrọ ibi-afẹde yoo ya tabi tẹ, ati pe iṣiṣẹ igbona lati ibi-afẹde ẹhin si ibi-afẹde yoo ni ipa pupọ, ti o yọrisi ikuna ti itujade ooru. ninu awọn sputtering ilana, ati awọn afojusun yoo kiraki tabi padanu
Ni ibere lati rii daju awọn gbona elekitiriki, Layer ti lẹẹdi iwe le ti wa ni fifẹ laarin awọn cathode itutu odi ati awọn afojusun.Jọwọ ṣe akiyesi lati ṣayẹwo ni pẹkipẹki ki o jẹ ki iyẹfun ti ogiri itutu agbaiye ti ibon sputtering ti a lo lati rii daju pe O-oruka wa ni aye nigbagbogbo.
Niwọn bi mimọ ti omi itutu agbaiye ti a lo ati eruku ti o le waye lakoko iṣẹ ohun elo yoo wa ni ifipamọ sinu ojò omi itutu cathode, o jẹ dandan lati ṣayẹwo ati nu omi itutu agba omi cathode nigba fifi ibi-afẹde sori ẹrọ lati rii daju pe dan. sisan omi itutu agbaiye ati pe ẹnu-ọna ati iṣan ko ni dina.
Diẹ ninu awọn cathodes ni a gbero lati ni aaye kekere kan pẹlu anode, nitorinaa nigbati o ba nfi ibi-afẹde sii, o nilo lati rii daju pe ko si ifọwọkan tabi adaorin laarin cathode ati anode, bibẹẹkọ kukuru kukuru yoo waye.
Tọkasi Iwe itọnisọna oniṣẹ ẹrọ fun alaye lori bi o ṣe le ṣiṣẹ ibi-afẹde ni deede.Ti ko ba si iru alaye ninu iwe afọwọkọ olumulo, jọwọ gbiyanju lati fi ẹrọ naa sori ẹrọ ni ibamu si awọn imọran ti o yẹ ti a pese nipasẹ irin Gaozhan.Nigbati o ba nmu imuduro ibi-afẹde naa di, kọkọ fi ọwọ mu boluti kan di, lẹhinna fi ọwọ mu boluti miiran pọ lori akọ-rọsẹ pẹlu ọwọ.Tun eyi ṣe titi gbogbo awọn boluti lori ẹrọ naa yoo di, ati lẹhinna Mu pẹlu nkan kan.
4, Kukuru Circuit ati wiwọ ayewo
Lẹhin ipari ti ẹrọ ibi-afẹde, o nilo lati ṣayẹwo kukuru kukuru ati wiwọ ti gbogbo cathode,
O ti wa ni dabaa lati mọ boya o wa ni a kukuru Circuit ni cathode nipa lilo a resistance mita
Iyatọ kana.Lẹhin ti ifẹsẹmulẹ pe ko si kukuru kukuru ni cathode, wiwa jijo le ṣee ṣe, ati pe a le gbe omi sinu cathode lati jẹrisi boya jijo omi wa.
5, Àkọlé pre sputtering
Àkọlé pre sputtering onigbawi funfun argon sputtering, eyi ti o le nu awọn dada ti awọn afojusun.Nigbati ibi-afẹde ba ti ṣaju, o gba ọ niyanju lati mu agbara sputtering laiyara pọ si, ati iwọn ilosoke agbara ti ibi-afẹde seramiki jẹ 1.5WH / cm2.Iyara sputtering iṣaaju ti ibi-afẹde irin le jẹ ti o ga ju ti bulọọki ibi-afẹde seramiki, ati iwọn ilosoke agbara ti o ni oye jẹ 1.5WH / cm2.
Ninu ilana ti iṣaju sputtering, a nilo lati ṣayẹwo arcing ti ibi-afẹde naa.Akoko iṣaaju sputtering jẹ nipa awọn iṣẹju 10 ni gbogbogbo.Ti ko ba si arcing lasan, continuously mu sputtering agbara
Si agbara ṣeto.Gẹgẹbi iriri, itẹwọgba agbara sputtering giga Z ti ibi-afẹde irin jẹ
25wattis / cm2, 10wattis / cm2 fun ibi-afẹde seramiki.Jọwọ tọka si ipilẹ eto ati iriri ti titẹ iyẹwu igbale lakoko itọlẹ ninu iwe afọwọṣe eto olumulo.Ni gbogbogbo, o yẹ ki o rii daju pe iwọn otutu omi ni itọsi ti omi itutu yẹ ki o wa ni isalẹ ju 35 ℃, ṣugbọn Z o ṣe pataki lati rii daju pe eto kaakiri ti omi itutu le ṣiṣẹ ni imunadoko.
Iyara iyara ti omi itutu agbaiye gba ooru kuro, eyiti o jẹ iṣeduro pataki lati rii daju sputtering lemọlemọfún pẹlu agbara giga.Fun awọn ibi-afẹde irin, o jẹ iṣeduro gbogbogbo pe ṣiṣan omi itutu jẹ
20lpm titẹ omi jẹ nipa 5gmp;Fun awọn ibi-afẹde seramiki, o jẹ iṣeduro gbogbogbo pe ṣiṣan omi jẹ 30lpm ati titẹ omi jẹ nipa 9gmp
6, Itọju ibi-afẹde
Lati yago fun iyika kukuru ati arcing ti o ṣẹlẹ nipasẹ iho alaimọ ni ilana itọ, o jẹ dandan lati yọ sputter ti a kojọpọ ni aarin ati awọn ẹgbẹ mejeeji ti orin itọka ni awọn ipele,
Eyi tun ṣe iranlọwọ fun awọn olumulo lati ṣafẹri nigbagbogbo ni iwuwo agbara giga z
7, Ibi ipamọ ibi-afẹde
Awọn ibi-afẹde ti a pese nipasẹ irin Gaozhan ti wa ni akopọ ninu awọn baagi igbale igbale meji-Layer.A ṣeduro pe awọn olumulo tọju awọn ibi-afẹde, boya irin tabi seramiki, ninu apoti igbale.Ni pato, awọn ibi-afẹde ifọkansi nilo lati wa ni ipamọ labẹ awọn ipo igbale lati ṣe idiwọ ifoyina ti Layer imora lati ni ipa lori didara imora.Nipa iṣakojọpọ ti awọn ibi-afẹde irin, a ṣeduro pe Z yẹ ki o ṣajọ sinu awọn baagi ṣiṣu mimọ
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-13-2022