Lilo jakejado ti ohun elo ibi-afẹde ni ọpọlọpọ awọn oojọ jẹ ki ibeere fun ohun elo ibi-afẹde ga ati giga julọ.Atẹle naa A yoo ni soki agbekale iwo kini awọn ibeere iṣẹ ṣiṣe akọkọ ti ibi-afẹde, hoping lati ran o.
Mimo: Iwa mimọ jẹ ọkan ninu awọn afihan iṣẹ-ṣiṣe akọkọ ti ibi-afẹde, nitori mimọ ti ibi-afẹde ni ipa nla lori iṣẹ ti fiimu naa.Ṣugbọn ni iṣe, mimọ ti ohun elo ibi-afẹde kii ṣe kanna.Fun apẹẹrẹ, pẹlu idagbasoke iyara ti oojọ microelectronics, iwọn wafer silikoni ti ni idagbasoke lati 6 “, 8 “si 12”, ati iwọn wiwọn ti dinku lati 0.5um si 0.25um,0.18um ati paapaa 0.13um.Ni kete ti 99.995% ti mimọ ibi-afẹde le pade awọn ibeere imọ-ẹrọ ti 0.35UMIC.Igbaradi ti laini 0.18um nilo 99.999% tabi paapaa 99.9999% mimọ ti ohun elo ibi-afẹde.
Iwuwo: Lati le dinku porosity ni ibi-afẹde ti o lagbara ati mu iṣẹ ti fiimu sputtering, ibi-afẹde nigbagbogbo nilo lati ni iwuwo giga.iwuwo ibi-afẹde ko ni ipa lori oṣuwọn sputtering nikan ṣugbọn itanna ati awọn ohun-ini opiti ti awọn fiimu naa.Ti o ga julọ iwuwo ibi-afẹde, iṣẹ ti o dara julọ ti fiimu naa.Ni afikun, iwuwo ati agbara ti ohun elo ibi-afẹde ti pọ si lati jẹ ki o dara julọ lati koju aapọn gbona lakoko sputtering.Iwuwo tun jẹ ọkan ninu awọn afihan iṣẹ ṣiṣe pataki ti awọn nkan ibi-afẹde.
Akoonu aimọ: awọn ohun elo ti o wa ni ibi-afẹde ti o lagbara ati atẹgun atẹgun ati omi omi ninu awọn pores jẹ awọn orisun idoti akọkọ ti awọn fiimu ti a kojọpọ.Awọn ohun elo ti o yatọ si fun awọn idi ti o yatọ ni awọn ibeere ti o yatọ si akoonu aimọ.Fun apẹẹrẹ, aluminiomu mimọ ati awọn ibi-afẹde alloy aluminiomu ti a lo ninu ile-iṣẹ semikondokito ni awọn ibeere pataki fun akoonu irin alkali ati akoonu ano ipanilara.
Akoko ifiweranṣẹ: Jun-06-2022