Ibora igbale tọka si alapapo ati yiyọ orisun evaporation ni igbale tabi sputtering pẹlu onikiakia ion bombardment, ati gbigbe si ori dada ti sobusitireti lati dagba kan-Layer tabi olona-Layer fiimu.Kini ilana ti bo igbale?Nigbamii ti, olootu ti RSM yoo ṣafihan rẹ si wa.
1. Igbale evaporation ti a bo
Iboju evaporation nbeere pe aaye laarin awọn ohun alumọni oru tabi awọn ọta lati orisun evaporation ati sobusitireti ti a bo yẹ ki o kere si ọna ọfẹ ti awọn ohun elo gaasi iyokù ninu yara ti a bo, lati rii daju pe awọn moleku oru ti evaporation le de oke ti sobusitireti laisi ijamba.Rii daju pe fiimu naa jẹ mimọ ati iduroṣinṣin, ati evaporation kii yoo oxidize.
2. Igbale sputtering bo
Ni igbale, nigbati awọn ions onikiakia ba kọlu pẹlu ohun to lagbara, ni apa kan, okuta momọ gara ti bajẹ, ni apa keji, wọn kolu pẹlu awọn ọta ti o jẹ kristali, ati nikẹhin awọn ọta tabi awọn ohun elo ti o wa ni oju ilẹ ti o lagbara. sputter ode.Awọn ohun elo sputtered ti wa ni palara lori sobusitireti lati ṣe fiimu tinrin kan, eyiti a pe ni gbigbẹ sputter igbale.Ọpọlọpọ awọn ọna sputtering wa, laarin eyiti diode sputtering jẹ ọkan akọkọ.Gẹgẹbi awọn ibi-afẹde cathode oriṣiriṣi, o le pin si lọwọlọwọ taara (DC) ati igbohunsafẹfẹ giga (RF).Nọmba awọn ọta ti a tu silẹ nipasẹ didaba lori oju ibi-afẹde pẹlu ion ni a pe ni oṣuwọn sputtering.Pẹlu oṣuwọn sputtering giga, iyara iṣelọpọ fiimu jẹ iyara.Oṣuwọn sputtering jẹ ibatan si agbara ati iru awọn ions ati iru ohun elo ibi-afẹde.Ni gbogbogbo, awọn sputtering oṣuwọn posi pẹlu awọn ilosoke ti eda eniyan ion agbara, ati awọn sputtering oṣuwọn ti iyebiye awọn irin jẹ ti o ga.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Keje-14-2022