Awọn ohun elo ibi-afẹde ti a lo ninu ile-iṣẹ ipamọ data nilo mimọ to gaju, ati awọn aimọ ati awọn pores gbọdọ dinku lati yago fun iran ti awọn patikulu aimọ lakoko sputtering.Ohun elo ibi-afẹde ti a lo fun awọn ọja ti o ni agbara giga nilo pe iwọn patiku gara rẹ gbọdọ jẹ kekere ati aṣọ, ati pe ko ni iṣalaye gara.Ni isalẹ, jẹ ki a wo awọn ibeere ti ile-iṣẹ ipamọ opiti fun ohun elo ibi-afẹde?
1. Mimo
Ni awọn ohun elo ti o wulo, mimọ ti awọn ohun elo ibi-afẹde yatọ ni ibamu si awọn ile-iṣẹ oriṣiriṣi ati awọn ibeere.Bibẹẹkọ, lapapọ, ti o ga julọ mimọ ti ohun elo ibi-afẹde, iṣẹ ṣiṣe ti fiimu ti o tu silẹ dara dara.Fun apẹẹrẹ, ninu ile-iṣẹ ibi ipamọ opiti, mimọ ti ohun elo ibi-afẹde ni a nilo lati tobi ju 3N5 tabi 4N.
2. akoonu aimọ
Awọn ohun elo ibi-afẹde n ṣiṣẹ bi orisun cathode ni itọka, ati awọn impurities ni ri to ati atẹgun ati omi oru ni awọn pores ni awọn orisun idoti akọkọ fun fifipamọ awọn fiimu tinrin.Ni afikun, awọn ibeere pataki wa fun awọn ibi-afẹde ti awọn lilo oriṣiriṣi.Gbigba ile-iṣẹ ibi ipamọ opiti gẹgẹbi apẹẹrẹ, akoonu aimọ ni awọn ibi-afẹde sputtering gbọdọ wa ni iṣakoso ni kekere pupọ lati rii daju pe didara ibora naa.
3. Iwọn ọkà ati pinpin iwọn
Nigbagbogbo, ohun elo ibi-afẹde ni eto polycrystalline, pẹlu awọn iwọn ọkà ti o wa lati awọn micrometers si awọn milimita.Fun awọn ibi-afẹde pẹlu akopọ kanna, oṣuwọn sputtering ti awọn ibi-afẹde ọkà ti o dara ni iyara ju ti awọn ibi-afẹde ọkà isokuso.Fun awọn ibi-afẹde pẹlu awọn iyatọ iwọn ọkà ti o kere ju, sisanra fiimu ti a fi pamọ yoo tun jẹ aṣọ aṣọ diẹ sii.
4. Iwapọ
Lati le dinku porosity ninu ohun elo ibi-afẹde to lagbara ati ilọsiwaju iṣẹ fiimu, o nilo gbogbogbo pe ohun elo ibi-afẹde sputtering ni iwuwo giga.Iwuwo ti ohun elo ibi-afẹde ni pataki da lori ilana igbaradi.Ohun elo ibi-afẹde ti a ṣe nipasẹ yo ati ọna simẹnti le rii daju pe ko si awọn pores inu ohun elo ibi-afẹde ati iwuwo jẹ giga julọ.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Keje-18-2023