A gbọdọ faramọ pẹlu ibi-afẹde ni bayi, ni bayi ọja ibi-afẹde tun n pọ si, atẹle naa ni iṣẹ akọkọ ti ibi-afẹde sputtering ti o pin nipasẹ olootu lati RSM
Awọn ti nw
Iwa mimọ ti ohun elo ibi-afẹde jẹ ọkan ninu awọn atọka iṣẹ ṣiṣe akọkọ, nitori mimọ ti ohun elo ibi-afẹde ni ipa nla lori iṣẹ ti fiimu tinrin.Sibẹsibẹ, ninu ohun elo ti o wulo, awọn ibeere mimọ ti awọn ohun elo ibi-afẹde kii ṣe kanna.Fun apẹẹrẹ, pẹlu idagbasoke iyara ti ile-iṣẹ microelectronics, iwọn chirún ohun alumọni ti ni idagbasoke lati 6 “, 8 “si 12”, ati iwọn wiwọn ti dinku lati 0.5um si 0.25um,0.18um tabi paapaa 0.13um.Ni iṣaaju, mimọ ti 99.995% ohun elo ibi-afẹde le pade awọn ibeere ilana ti 0.35umIC.Iwa mimọ ti ohun elo ibi-afẹde jẹ 99.999% tabi paapaa 99.9999% fun igbaradi ti awọn laini 0.18um.
Akoonu aimọ
Awọn idọti ti o wa ni ibi-afẹde ti o lagbara ati atẹgun ati omi afẹfẹ ninu awọn pores jẹ awọn orisun idoti akọkọ ti fifisilẹ fiimu.Awọn ohun elo ibi-afẹde fun awọn idi oriṣiriṣi ni awọn ibeere oriṣiriṣi fun oriṣiriṣi akoonu aimọ.Fun apẹẹrẹ, aluminiomu mimọ ati awọn ibi-afẹde alloy aluminiomu ti a lo ninu ile-iṣẹ semikondokito ni awọn ibeere pataki fun akoonu ti awọn irin alkali ati awọn eroja ipanilara.
Awọn iwuwo
Lati le dinku porosity ni ibi-afẹde ti o lagbara ati ilọsiwaju iṣẹ ti fiimu sputtering, iwuwo giga ti ibi-afẹde nigbagbogbo nilo.Awọn iwuwo ti awọn afojusun ni ipa lori ko nikan sputtering oṣuwọn sugbon o tun awọn itanna ati opitika-ini ti awọn fiimu.Ti o ga iwuwo ibi-afẹde, iṣẹ ṣiṣe fiimu dara julọ.Ni afikun, jijẹ iwuwo ati agbara ti ibi-afẹde naa jẹ ki ibi-afẹde naa dara julọ koju aapọn gbona ni ilana itọ.Iwuwo tun jẹ ọkan ninu awọn atọka iṣẹ ṣiṣe bọtini ti ibi-afẹde.
Iwọn ọkà ati pinpin iwọn ọkà
Ibi-afẹde nigbagbogbo jẹ polycrystalline pẹlu iwọn ọkà ti o wa lati micrometer si millimeter.Fun ibi-afẹde kanna, oṣuwọn sputtering ti ibi-afẹde pẹlu awọn irugbin kekere yiyara ju ti ibi-afẹde pẹlu awọn irugbin nla.Pipin sisanra ti awọn fiimu ti o wa ni ipamọ nipasẹ ibi-afẹde sputtering pẹlu iyatọ iwọn ọkà kekere (pinpin aṣọ) jẹ aṣọ diẹ sii.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹjọ-04-2022