Ibi-afẹde naa ni awọn ipa pupọ, ati aaye idagbasoke ọja jẹ nla.O wulo pupọ ni awọn aaye pupọ.Fere gbogbo awọn ohun elo sputtering tuntun lo awọn oofa ti o lagbara si awọn elekitironi ajija lati mu yara ionization ti argon ni ayika ibi-afẹde, ti o fa ilosoke ninu iṣeeṣe ikọlu laarin ibi-afẹde ati awọn ions argon.Bayi jẹ ki a wo ipa ti ibi-afẹde sputtering ni ibora igbale.
Ṣe ilọsiwaju oṣuwọn sputtering.Ni gbogbogbo, DC sputtering ti wa ni lilo fun irin ti a bo, nigba ti RF AC sputtering ti wa ni lilo fun ti kii-conductive seramiki oofa.Ilana ipilẹ ni lati lo itujade didan lati kọlu awọn ions argon (AR) lori dada ti ibi-afẹde ni igbale, ati awọn cations ninu pilasima yoo yara lati yara si dada elekiturodu odi bi ohun elo splashed.Ipa yii yoo jẹ ki ohun elo ti ibi-afẹde naa fò jade ati idogo lori sobusitireti lati ṣe fiimu kan.
Ni gbogbogbo, awọn abuda pupọ wa ti ibora fiimu nipasẹ ilana sputtering: (1) irin, alloy tabi insulator le ṣee ṣe sinu data fiimu.
(2) Labẹ awọn ipo eto ti o yẹ, fiimu pẹlu akopọ kanna le ṣee ṣe lati awọn ibi-afẹde pupọ ati rudurudu.
(3) Adalu tabi agbo ti ohun elo ibi-afẹde ati awọn moleku gaasi le jẹ iṣelọpọ nipasẹ fifi atẹgun tabi awọn gaasi ti nṣiṣe lọwọ miiran ni oju-aye itusilẹ.
(4) Awọn titẹ sii ibi-afẹde lọwọlọwọ ati akoko sputtering ni a le ṣakoso, ati pe o rọrun lati gba sisanra fiimu to gaju.
(5) Ti a bawe pẹlu awọn ilana miiran, o jẹ itara si iṣelọpọ awọn fiimu aṣọ aṣọ agbegbe ti o tobi.
(6) Awọn patikulu sputtered fere ko ni ipa nipasẹ walẹ, ati awọn ipo ti afojusun ati sobusitireti le wa ni idayatọ larọwọto.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-17-2022