Gbogbo wa mọ pe sputtering jẹ ọkan ninu awọn imọ-ẹrọ akọkọ fun ṣiṣe awọn ohun elo fiimu.O nlo awọn ions ti o ṣejade nipasẹ orisun ion lati mu iyara pọ si ni igbale lati dagba ina ion iyara ti o ga, bombard dada ti o lagbara, ati awọn ions ṣe paṣipaarọ agbara kainetik pẹlu awọn ọta lori aaye ti o lagbara, ki awọn ọta ti o wa lori ibi ti o lagbara. dada kuro ni ri to ati idogo lori dada sobusitireti.Awọn bombarded ri to ni awọn aise awọn ohun elo fun ifipamo fiimu nipa sputtering, eyi ti o ni a npe ni sputtering afojusun.
Awọn oriṣi ti awọn ohun elo fiimu sputtered ni a ti lo ni lilo pupọ ni awọn iyika iṣọpọ semikondokito, media gbigbasilẹ, ifihan ero, ọpa ati ibora oju ilẹ ati bẹbẹ lọ.
Awọn ibi-afẹde sputtering ni a lo ni akọkọ ni itanna ati awọn ile-iṣẹ alaye, gẹgẹbi awọn iyika iṣọpọ, ibi ipamọ alaye, awọn ifihan gara omi, awọn iranti laser, ohun elo iṣakoso itanna, ati bẹbẹ lọ;O tun le ṣee lo ni aaye ti gilasi gilasi;O tun le ṣee lo ni awọn ohun elo ti o ni wiwọ, iwọn otutu ti o ga julọ, awọn ọja ọṣọ ti o ga julọ ati awọn ile-iṣẹ miiran.
Ọpọlọpọ awọn iru awọn ibi-afẹde sputtering lo wa, ati pe awọn ọna oriṣiriṣi lo wa fun isọdi ti awọn ibi-afẹde:
Ni ibamu si awọn tiwqn, o le ti wa ni pin si irin afojusun, alloy afojusun ati seramiki yellow afojusun.
Gẹgẹbi apẹrẹ, o le pin si ibi-afẹde gigun, ibi-afẹde square ati ibi-afẹde yika.
O le pin si ibi-afẹde microelectronic, ibi-afẹde gbigbasilẹ oofa, ibi-afẹde disk opitika, ibi-afẹde irin iyebiye, ibi-afẹde resistance fiimu, ibi-afẹde fiimu, ibi-afẹde iyipada dada, ibi-afẹde boju-boju, ibi-afẹde Layer ohun ọṣọ, ibi-afẹde elekiturodu ati awọn ibi-afẹde miiran ni ibamu si aaye ohun elo.
Gẹgẹbi awọn ohun elo oriṣiriṣi, o le pin si awọn ibi-afẹde seramiki ti o ni ibatan semikondokito, gbigbasilẹ awọn ibi-afẹde seramiki alabọde, awọn ibi-afẹde seramiki ṣafihan, awọn ibi-afẹde seramiki superconducting ati awọn ibi-afẹde seramiki nla magnetoresistance.
Akoko ifiweranṣẹ: Jul-29-2022