Gẹgẹbi gbogbo wa ṣe mọ, awọn ọna ti a lo nigbagbogbo ninu ibora igbale jẹ ifasilẹ igbale ati ion sputtering.Kini iyato laarin transpiration bo ati sputtering ti a bo Ọpọlọpọ awọneniyan ni iru ibeere.Jẹ ki ká pin pẹlu awọn ti o iyato laarin transpiration bo ati sputtering bo
Fiimu transpiration Vacuum ni lati gbona data lati jẹ itọka si iwọn otutu ti o wa titi nipasẹ alapapo resistance tabi tan ina elekitironi ati ikarahun lesa ni agbegbe kan pẹlu iwọn igbale ti ko kere ju 10-2Pa, nitorinaa agbara gbigbọn gbona ti awọn ohun elo tabi awọn ọta ti o wa ninu data kọja agbara abuda ti dada, tobẹẹ ti ọpọlọpọ awọn moleku tabi awọn ọta transpiration tabi pọ si, ati gbe wọn taara sori sobusitireti lati ṣẹda fiimu kan.Ion sputtering ti a bo nlo awọn ga remonstrance ronu ti rere ions ti ipilẹṣẹ nipasẹ gaasi yosita labẹ awọn ipa ti ina aaye lati bombard awọn ibi-afẹde bi awọn cathode, ki awọn ọta tabi moleku ninu awọn afojusun ona abayo ati idogo lori dada ti awọn palara workpiece lati dagba. fiimu ti a beere.
Ọna ti o wọpọ julọ ti ibora transpiration igbale jẹ ọna alapapo resistance.Awọn anfani rẹ jẹ ọna ti o rọrun ti orisun alapapo, idiyele kekere ati iṣẹ irọrun.Awọn aila-nfani rẹ ni pe ko dara fun awọn irin refractory ati media sooro otutu giga.Alapapo itanna ina ina ati ina lesa le bori awọn aila-nfani ti alapapo resistance.Ninu alapapo elekitironi ina ina elekitironi, ina elekitironi ti a dojukọ ni a lo lati mu awọn data ti a fi ikarahun gbóna taara, ati pe agbara kainetik ti ina elekitironi di agbara ooru lati ṣe transmisi data naa.Alapapo lesa nlo laser agbara-giga bi orisun alapapo, ṣugbọn nitori idiyele giga ti lesa agbara giga, o le ṣee lo nikan ni nọmba kekere ti awọn ile-iṣẹ iwadii.
Ọgbọn sputtering yatọ si olorijori transspiration igbale.Sputtering ntokasi si awọn lasan ti o gba agbara patikulu bombard pada si awọn dada (afojusun) ti awọn ara, ki ri to atomu tabi moleku wa ni itujade lati awọn dada.Pupọ julọ awọn patikulu ti a jade jẹ atomiki, eyiti a maa n pe ni awọn ọta sputtered.Awọn patikulu sputtered ti a lo fun awọn ibi-afẹde ikarahun le jẹ awọn elekitironi, awọn ions tabi awọn patikulu didoju.Nitoripe awọn ions rọrun lati gba agbara kainetik ti a beere labẹ aaye ina, awọn ions ni a yan julọ bi awọn patikulu ikarahun.
Ilana sputtering da lori itujade didan, iyẹn ni, awọn ions sputtering wa lati itujade gaasi.Awọn ọgbọn sputtering oriṣiriṣi ni awọn ọna idasilẹ didan oriṣiriṣi.DC diode sputtering nlo DC didan didan;Triode sputtering jẹ itujade didan ti o ni atilẹyin nipasẹ cathode gbona;RF sputtering nlo RF didan didan;Titọka Magnetron jẹ itujade didan ti o ṣakoso nipasẹ aaye oofa anular kan.
Ti a fiwera pẹlu ibora transpiration igbale, ibora sputtering ni ọpọlọpọ awọn anfani.Ti o ba ti eyikeyi nkan le ti wa ni sputtered, paapa eroja ati agbo pẹlu ga yo ojuami ati kekere oru titẹ;Adhesion laarin awọn sputtered fiimu ati sobusitireti jẹ dara;Iwọn fiimu giga;Awọn fiimu sisanra le ti wa ni dari ati awọn repeatability jẹ ti o dara.Alailanfani ni pe ohun elo jẹ eka ati nilo awọn ẹrọ foliteji giga.
Ni afikun, apapọ ọna transspiration ati ọna sputtering jẹ ion plating.Awọn anfani ti ọna yii jẹ ifaramọ ti o lagbara laarin fiimu ati sobusitireti, oṣuwọn giga ati iwuwo giga ti fiimu naa.
Akoko ifiweranṣẹ: May-09-2022