Gẹgẹbi gbogbo wa ṣe mọ, evaporation igbale ati sputtering ion jẹ lilo igbagbogbo ni ibora igbale.Kini iyato laarin evaporation bo ati sputtering bo?Nigbamii ti, awọn amoye imọ-ẹrọ lati RSM yoo pin pẹlu wa.
Ipara evaporation igbale ni lati gbona ohun elo lati gbejade si iwọn otutu kan nipasẹ alapapo resistance tabi tan ina elekitironi ati bombu lesa ni agbegbe kan pẹlu iwọn igbale ti ko kere ju 10-2Pa, nitorinaa agbara gbigbọn gbona ti awọn ohun elo tabi awọn ọta ninu awọn ohun elo ti koja agbara abuda ti awọn dada, ki kan ti o tobi nọmba ti moleku tabi awọn ọta evaporate tabi sublimate, ati taara precipitate lori sobusitireti lati fẹlẹfẹlẹ kan ti fiimu.Ion sputtering ti a bo nlo gbigbe iyara giga ti awọn ions rere ti ipilẹṣẹ nipasẹ itujade gaasi labẹ iṣẹ ti aaye ina lati bombard ibi-afẹde bi cathode, ki awọn ọta tabi awọn ohun amorindun ninu ibi-afẹde salọ ati ṣaju si oju ti iṣẹ-ṣiṣe ti palara lati dagba. fiimu ti a beere.
Ọna ti o wọpọ julọ ti ibora evaporation igbale jẹ alapapo resistance, eyiti o ni awọn anfani ti eto ti o rọrun, idiyele kekere ati iṣẹ irọrun;Alailanfani ni pe ko dara fun awọn irin refractory ati awọn ohun elo dielectric sooro otutu giga.Alapapo itanna ina ina ati ina lesa le bori awọn ailagbara ti alapapo resistance.Ninu alapapo elekitironi, ina elekitironi ti a dojukọ ni a lo lati mu awọn ohun elo ti bombarded taara gbona, ati pe agbara kainetik ti tan ina elekitironi di agbara ooru, eyiti o jẹ ki ohun elo naa yọ.Alapapo lesa nlo lesa agbara giga bi orisun alapapo, ṣugbọn nitori idiyele giga ti lesa agbara giga, o le ṣee lo nikan ni awọn ile-iṣẹ iwadii diẹ ni lọwọlọwọ.
Imọ-ẹrọ sputtering yatọ si imọ-ẹrọ evaporation igbale."Sputtering" ntokasi si awọn lasan ti o gba agbara patikulu bombard awọn ri to dada (afojusun) ati ki o ṣe ri to atomu tabi moleku iyaworan jade lati awọn dada.Pupọ julọ awọn patikulu ti o jade wa ni ipo atomiki, eyiti a maa n pe ni awọn ọta sputtered.Awọn patikulu sputtered ti a lo lati bombard ibi-afẹde le jẹ awọn elekitironi, awọn ions tabi awọn patikulu didoju.Nitoripe awọn ions rọrun lati yara yara labẹ aaye ina lati gba agbara kainetik ti a beere, pupọ julọ wọn lo awọn ions bi awọn patikulu bombarded.Ilana sputtering da lori didan didan, iyẹn ni, awọn ions sputtering wa lati isunjade gaasi.Awọn imọ-ẹrọ sputtering oriṣiriṣi gba awọn ipo idasilẹ didan oriṣiriṣi.DC diode sputtering nlo DC didan didan;Triode sputtering jẹ itujade didan ti o ni atilẹyin nipasẹ cathode gbona;RF sputtering nlo RF didan didan;Titọka Magnetron jẹ itujade didan ti o ṣakoso nipasẹ aaye oofa anular kan.
Ti a ṣe afiwe pẹlu ibora evaporation igbale, ibora sputtering ni ọpọlọpọ awọn anfani.Fun apẹẹrẹ, eyikeyi nkan le ti wa ni sputtered, paapa eroja ati agbo pẹlu ga yo ojuami ati kekere oru titẹ;Adhesion laarin awọn sputtered fiimu ati sobusitireti jẹ dara;Iwọn fiimu giga;Awọn fiimu sisanra le ti wa ni dari ati awọn repeatability jẹ ti o dara.Alailanfani ni pe ohun elo jẹ eka ati nilo awọn ẹrọ foliteji giga.
Ni afikun, apapo ọna evaporation ati ọna sputtering jẹ ion plating.Awọn anfani ti ọna yii ni pe fiimu ti a gba ni ifaramọ ti o lagbara pẹlu sobusitireti, oṣuwọn giga ati iwuwo fiimu giga.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Keje-20-2022