Pẹlu idagbasoke ti ile-iṣẹ alaye itanna, awọn ohun elo imọ-ẹrọ giga ti wa ni gbigbe diẹdiẹ lati dì si fiimu tinrin, ati awọn ẹrọ ti a bo ni idagbasoke ni iyara.Ohun elo ibi-afẹde jẹ ohun elo itanna pataki kan pẹlu iye ti a ṣafikun giga, ati pe o jẹ orisun ti sputtering awọn ohun elo fiimu tinrin.Gẹgẹbi ohun elo ipilẹ fun idagbasoke ti ile-iṣẹ fiimu ti kii ṣe metallic, ohun elo ibi-afẹde seramiki ti ni idagbasoke airotẹlẹ ati iwọn ọja ti ohun elo ibi-afẹde n pọ si lojoojumọ.
Awọn oriṣi meji ti awọn ibi-afẹde seramiki wa:
(1) Gẹgẹbi akopọ kemikali, o le pin si ibi-afẹde seramiki oxide, ibi-afẹde seramiki silicide, ibi-afẹde seramiki nitride, ibi-afẹde seramiki fluoride ati ibi-afẹde seramiki sulfide, bbl Ifihan planar ITO seramiki ibi-afẹde ti ni iṣelọpọ pupọ ati lo ni Ilu China.Awọn ibi-afẹde seramiki fun awọn fiimu idabobo dielectric giga ati awọn ibi-afẹde seramiki nla magnetoresistance ni awọn ireti ohun elo gbooro.
(2) Gẹgẹbi ohun elo naa, o le pin si ibi-afẹde seramiki ti o ni nkan ṣe semikondokito, ibi-afẹde seramiki ifihan, ibi-afẹde seramiki gbigbasilẹ oofa, ibi-afẹde seramiki gbigbasilẹ, ibi-afẹde seramiki superconducting, ibi-afẹde seramiki nla magnetoresistance, abbl.
Ibi-afẹde seramiki ni iṣelọpọ ọja eletiriki eka ti o wa tẹlẹ, awọn akọọlẹ fun apakan kekere ti imọ-ẹrọ, ṣugbọn o ti ṣe ipa ti awọn ohun elo awakọ ipilẹ ile-iṣẹ alaye.Ibi-afẹde ọkọ ofurufu seramiki ti ile ni akọkọ yan sintering ati ilana abuda, le gbejade ipari ti o pọju ti 600mm, iwọn ti o pọ julọ ti 400mmm, sisanra ti o pọju ti 30mm, fillet, bevel, awọn igbesẹ ati awọn ilana apẹrẹ pataki miiran ni ibamu si awọn ibeere alabara.Pẹlu idagbasoke iyara ti ile-iṣẹ alaye itanna ti Ilu China, ibeere fun ibi-afẹde sputtering seramiki n pọ si ni ọdun nipasẹ ọdun.Ni ọjọ iwaju, iwadii ati idagbasoke ti ibi-afẹde sputtering seramiki jẹ koko pataki fun awọn olupese ibi-afẹde China.
Akoko ifiweranṣẹ: Jul-22-2022