1. Ọna sputtering Magnetron:
A le pin sputtering Magnetron si sputtering DC, sputtering igbohunsafẹfẹ alabọde ati RF sputtering
A. DC sputtering ipese agbara ni poku ati awọn iwuwo ti nile fiimu ti ko dara.Ni gbogbogbo, awọn batiri photothermal inu ile ati awọn batiri fiimu tinrin ni a lo pẹlu agbara kekere, ati ibi-afẹde sputtering jẹ ibi-afẹde onirin.
B. Agbara sputtering RF ti ga, ati pe ibi-afẹde sputtering le jẹ ibi-afẹde ti kii ṣe adaṣe tabi ibi-afẹde adaṣe.
C. Àfojúsùn sputtering igbohunsafẹfẹ alabọde le jẹ ibi-afẹde seramiki tabi ibi-afẹde irin.
2. Iyasọtọ ati ohun elo ti awọn ibi-afẹde sputtering
Ọpọlọpọ awọn iru awọn ibi-afẹde sputtering lo wa, ati awọn ọna ikasi ibi-afẹde tun yatọ.Gẹgẹbi apẹrẹ, wọn pin si ibi-afẹde gigun, ibi-afẹde square ati ibi-afẹde yika;Ni ibamu si awọn tiwqn, o le ti wa ni pin si irin afojusun, alloy afojusun ati seramiki yellow afojusun;Gẹgẹbi awọn aaye ohun elo ti o yatọ, o le pin si awọn ibi-afẹde seramiki ti o ni ibatan semikondokito, gbigbasilẹ awọn ibi-afẹde seramiki alabọde, awọn ibi-afẹde seramiki han, bbl Awọn ibi-afẹde sputtering ni a lo ni pataki ni itanna ati awọn ile-iṣẹ alaye, gẹgẹbi ile-iṣẹ ipamọ alaye.Ninu ile-iṣẹ yii, awọn ibi-afẹde sputtering ni a lo lati mura awọn ọja fiimu tinrin ti o yẹ (diiki lile, ori oofa, disiki opiti, ati bẹbẹ lọ).Ni asiko yi.Pẹlu idagbasoke ilọsiwaju ti ile-iṣẹ alaye, ibeere fun gbigbasilẹ awọn ibi-afẹde seramiki alabọde ni ọja n pọ si.Iwadi ati iṣelọpọ awọn ibi-afẹde alabọde gbigbasilẹ ti di idojukọ ti akiyesi lọpọlọpọ.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-11-2022