Laipe, ọpọlọpọ awọn ọrẹ beere nipa awọn abuda kan ti awọn ibi-afẹde sputtering molybdenum.Ninu ile-iṣẹ itanna, lati le mu iṣẹ ṣiṣe sputtering ati rii daju didara awọn fiimu ti a fi silẹ, kini awọn ibeere fun awọn abuda ti awọn ibi-afẹde sputtering molybdenum?Bayi awọn amoye imọ-ẹrọ lati RSM yoo ṣe alaye rẹ fun wa.
1. Mimo
Mimo giga jẹ ibeere abuda ipilẹ ti ibi-afẹde sputtering molybdenum.Ti o ga julọ mimọ ti ibi-afẹde molybdenum, iṣẹ ti o dara julọ ti fiimu sputtered.Ni gbogbogbo, mimọ ti ibi-afẹde sputtering molybdenum yẹ ki o jẹ o kere ju 99.95% (ida pupọ, kanna ni isalẹ).Bibẹẹkọ, pẹlu ilọsiwaju ilọsiwaju ti iwọn ti sobusitireti gilasi ni ile-iṣẹ LCD, gigun ti wiwọ ni a nilo lati faagun ati iwọn ila-laini nilo lati jẹ tinrin.Lati rii daju isokan ti fiimu naa ati didara wiwu, mimọ ti ibi-afẹde sputtering molybdenum tun nilo lati pọ si ni ibamu.Nitorinaa, ni ibamu si iwọn ti sobusitireti gilasi sputtered ati agbegbe lilo, mimọ ti ibi-afẹde sputtering molybdenum ni a nilo lati jẹ 99.99% - 99.999% tabi paapaa ga julọ.
Ibi-afẹde sputtering Molybdenum ni a lo bi orisun cathode ni sputtering.Awọn aimọ ti o lagbara ati atẹgun ati omi oru ni awọn pores jẹ awọn orisun idoti akọkọ ti awọn fiimu ti a fi pamọ.Ni afikun, ni ile-iṣẹ itanna, nitori awọn ions irin alkali (Na, K) rọrun lati di awọn ions alagbeka ni Layer idabobo, iṣẹ ti ẹrọ atilẹba ti dinku;Awọn eroja gẹgẹbi uranium (U) ati titanium (TI) yoo tu silẹ α X-ray, ti o mu ki awọn ohun elo ti o rọ;Iron ati nickel ions yoo fa jijo ni wiwo ati ilosoke ti atẹgun eroja.Nitorinaa, ninu ilana igbaradi ti ibi-afẹde sputtering molybdenum, awọn eroja aimọ wọnyi nilo lati ni iṣakoso ni muna lati dinku akoonu wọn ninu ibi-afẹde.
2. Iwọn ọkà ati pinpin iwọn
Ni gbogbogbo, ibi-afẹde sputtering molybdenum jẹ ẹya polycrystalline, ati iwọn ọkà le wa lati micron si millimeter.Awọn abajade idanwo fihan pe oṣuwọn sputtering ti ibi-afẹde ọkà ti o dara ni iyara ju ti ibi-afẹde ọkà isokuso;Fun ibi-afẹde pẹlu iyatọ iwọn ọkà kekere, pinpin sisanra ti fiimu ti a fi silẹ tun jẹ aṣọ aṣọ diẹ sii.
3. Crystal iṣalaye
Nitoripe awọn ọta ibi-afẹde ni o rọrun lati wa ni itọka ni pataki ni ọna itọsọna ti eto isunmọ ti awọn ọta ni itọsọna hexagonal lakoko sputtering, lati le ṣaṣeyọri oṣuwọn sputtering ti o ga julọ, oṣuwọn sputtering nigbagbogbo pọ si nipasẹ yiyipada ilana gara ti ibi-afẹde naa.Itọsọna kirisita ti ibi-afẹde naa tun ni ipa nla lori iṣọkan sisanra ti fiimu sputtered.Nitorinaa, o ṣe pataki pupọ lati gba eto ibi-afẹde iṣalaye gara kan fun ilana itusilẹ ti fiimu naa.
4. Densification
Ninu ilana ti wiwa sputtering, nigbati ibi-afẹde sputtering pẹlu iwuwo kekere ti wa ni bombarded, gaasi ti o wa ninu awọn pores inu ti ibi-afẹde naa ni a tu silẹ lojiji, ti o mu ki awọn patikulu ibi-afẹde nla tabi awọn patikulu, tabi ohun elo fiimu ti wa ni bombarded. nipasẹ Atẹle elekitironi lẹhin fiimu Ibiyi, Abajade ni patiku splashing.Irisi awọn patikulu wọnyi yoo dinku didara fiimu naa.Lati le dinku awọn pores ni ibi-afẹde ti o lagbara ati ilọsiwaju iṣẹ fiimu, ibi-afẹde sputtering ni gbogbogbo nilo lati ni iwuwo giga.Fun ibi-afẹde sputtering molybdenum, iwuwo ibatan rẹ yẹ ki o jẹ diẹ sii ju 98%.
5. Abuda ti afojusun ati ẹnjini
Ni gbogbogbo, ibi-afẹde sputtering molybdenum gbọdọ wa ni asopọ pẹlu atẹgun ọfẹ Ejò (tabi aluminiomu ati awọn ohun elo miiran) chassis ṣaaju itọka, ki imunadoko igbona ti ibi-afẹde ati ẹnjini jẹ dara lakoko ilana sputtering.Lẹhin isọpọ, ayewo ultrasonic gbọdọ ṣee ṣe lati rii daju pe agbegbe ti ko ni isunmọ ti awọn meji kere ju 2%, lati le pade awọn ibeere ti sputtering agbara-giga laisi ja bo.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Keje-19-2022