Gẹgẹbi gbogbo wa ṣe mọ, aṣa idagbasoke ti imọ-ẹrọ ohun elo ibi-afẹde ni ibatan pẹkipẹki si aṣa idagbasoke ti imọ-ẹrọ fiimu ni ile-iṣẹ ohun elo isalẹ.Pẹlu ilọsiwaju imọ-ẹrọ ti awọn ọja fiimu tabi awọn paati ninu ile-iṣẹ ohun elo, imọ-ẹrọ ibi-afẹde yẹ ki o tun yipada.Fun apẹẹrẹ, awọn olupilẹṣẹ Ic ti dojukọ laipẹ lori idagbasoke ti wiwọ bàbà resistivity kekere, eyiti o nireti lati rọpo fiimu aluminiomu atilẹba ni pataki ni awọn ọdun diẹ ti n bọ, nitorinaa idagbasoke awọn ibi-afẹde bàbà ati awọn ibi-afẹde idena ti wọn nilo yoo jẹ iyara.
Ni afikun, ni odun to šẹšẹ, alapin nronu àpapọ (FPD) ti ibebe rọpo awọn cathode-ray tube (CRT) -orisun kọmputa àpapọ ati tẹlifisiọnu oja.Yoo tun ṣe alekun imọ-ẹrọ ati ibeere ọja fun awọn ibi-afẹde ITO.Ati lẹhinna imọ-ẹrọ ipamọ wa.Ibeere fun iwuwo giga, awọn dirafu lile ti o ni agbara nla ati awọn disiki erasable iwuwo giga tẹsiwaju lati pọ si.Gbogbo iwọnyi ti yori si awọn ayipada ninu ibeere fun awọn ohun elo ibi-afẹde ninu ile-iṣẹ ohun elo.Ni atẹle yii, a yoo ṣafihan awọn aaye ohun elo akọkọ ti ibi-afẹde ati aṣa idagbasoke ti ibi-afẹde ni awọn aaye wọnyi.
1. Microelectronics
Ni gbogbo awọn ile-iṣẹ ohun elo, ile-iṣẹ semikondokito ni awọn ibeere didara ti o lagbara julọ fun awọn fiimu itọsi ibi-afẹde.Silikoni wafers ti 12 inch (300 epistaxis) ti a ti ṣelọpọ bayi.Awọn iwọn ti awọn interconnect ti n dinku.Awọn ibeere ti awọn olupilẹṣẹ wafer silikoni fun awọn ohun elo ibi-afẹde jẹ iwọn nla, mimọ giga, ipin kekere ati ọkà ti o dara, eyiti o nilo awọn ohun elo ibi-afẹde lati ni microstructure to dara julọ.Iwọn patiku crystalline ati isokan ti ohun elo ibi-afẹde ni a ti gbero bi awọn nkan pataki ti o ni ipa lori oṣuwọn fifisilẹ fiimu.
Ti a ṣe afiwe pẹlu aluminiomu, bàbà ni o ni agbara elekitiromobility ti o ga julọ ati resistivity kekere, eyiti o le pade awọn ibeere ti imọ-ẹrọ adaorin ni wiwọ submicron ni isalẹ 0.25um, ṣugbọn o mu awọn iṣoro miiran wa: agbara ifaramọ kekere laarin Ejò ati awọn ohun elo alabọde Organic.Pẹlupẹlu, o rọrun lati fesi, eyiti o yori si ipata ti interconnect Ejò ati fifọ Circuit lakoko lilo chirún.Lati le yanju iṣoro yii, o yẹ ki o ṣeto ipele idena laarin Ejò ati Layer dielectric.
Awọn ohun elo ibi-afẹde ti a lo ninu ipele idena ti isọdọkan Ejò pẹlu Ta, W, TaSi, WSi, ati bẹbẹ lọ Ṣugbọn Ta ati W jẹ awọn irin atukuro.O nira pupọ lati ṣe, ati pe awọn ohun elo bii molybdenum ati chromium ti wa ni ikẹkọ bi awọn ohun elo yiyan.
2. Fun ifihan
Ifihan alapin alapin (FPD) ti ni ipa pupọ si ibojuwo kọnputa ti o da lori cathode-ray tube (CRT) ati ọja tẹlifisiọnu ni awọn ọdun, ati pe yoo tun ṣe awakọ imọ-ẹrọ ati ibeere ọja fun awọn ohun elo ibi-afẹde ITO.Awọn oriṣi meji ti awọn ibi-afẹde ITO wa loni.Ọkan ni lati lo ipo nanometer ti indium oxide ati tin oxide lulú lẹhin sisọ, ekeji ni lati lo ibi-afẹde indium tin alloy.Fiimu ITO le ṣe nipasẹ DC ifaseyin sputtering lori indium-tin alloy ibi-afẹde, ṣugbọn dada ibi-afẹde yoo oxidize ati ni ipa lori oṣuwọn sputtering, ati pe o nira lati gba ibi-afẹde alloy iwọn nla.
Ni ode oni, ọna akọkọ ni a gba ni gbogbogbo lati ṣe agbejade ohun elo ibi-afẹde ITO, eyiti o jẹ ifunpa sputtering nipasẹ ifura sputtering magnetron.O ni oṣuwọn fifisilẹ yara.Awọn sisanra fiimu le ni iṣakoso ni deede, ifaramọ jẹ giga, aitasera ti fiimu naa dara, ati ifaramọ ti sobusitireti lagbara.Ṣugbọn awọn ohun elo ibi-afẹde jẹ soro lati ṣe, nitori indium oxide ati tin oxide ko ni irọrun papọ papọ.Ni gbogbogbo, ZrO2, Bi2O3 ati CeO ni a yan bi awọn afikun sintering, ati pe ohun elo ibi-afẹde pẹlu iwuwo ti 93% ~ 98% ti iye imọ-jinlẹ le ṣee gba.Iṣe ti fiimu ITO ti a ṣẹda ni ọna yii ni ibatan nla pẹlu awọn afikun.
Idena resistivity ti fiimu ITO ti o gba nipasẹ lilo iru ohun elo ibi-afẹde de 8.1 × 10n-cm, eyiti o sunmọ si resistivity ti fiimu ITO mimọ.Awọn iwọn ti FPD ati conductive gilasi jẹ ohun ti o tobi, ati awọn iwọn ti conductive gilasi le ani de 3133mm.Lati le mu lilo awọn ohun elo ibi-afẹde dara si, awọn ohun elo ibi-afẹde ITO pẹlu awọn apẹrẹ oriṣiriṣi, gẹgẹbi apẹrẹ iyipo, ti ni idagbasoke.Ni 2000, Igbimọ Eto Idagbasoke ti Orilẹ-ede ati Ile-iṣẹ ti Imọ-ẹrọ ati Imọ-ẹrọ pẹlu awọn ibi-afẹde nla ITO ni Awọn Itọsọna fun Awọn agbegbe Koko ti Ile-iṣẹ Alaye Lọwọlọwọ Ni iṣaaju fun Idagbasoke.
3. Ibi ipamọ lilo
Ni awọn ofin ti imọ-ẹrọ ipamọ, idagbasoke ti iwuwo giga ati awọn disiki lile ti o ni agbara nla nilo nọmba nla ti awọn ohun elo fiimu aifẹ nla.Fiimu alapọpọpọpọ CoF ~ Cu jẹ ẹya lilo pupọ ti fiimu ilọkuro nla.Ohun elo ibi-afẹde alloy TbFeCo ti o nilo fun disiki oofa ṣi wa ni idagbasoke siwaju sii.Disiki oofa ti a ṣelọpọ pẹlu TbFeCo ni awọn abuda ti agbara ibi ipamọ nla, igbesi aye iṣẹ pipẹ ati imukuro ti kii ṣe olubasọrọ leralera.
Antimony germanium telluride orisun iranti iyipada alakoso (PCM) ṣe afihan agbara iṣowo pataki, di apakan NOR filasi iranti ati ọja DRAM ọna ẹrọ ipamọ omiiran, sibẹsibẹ, ni imuse ni iyara diẹ sii ni iwọn ọkan ninu awọn italaya lori ọna lati wa tẹlẹ ni aini lati tunto. awọn ti isiyi gbóògì le ti wa ni lo sile siwaju patapata kü kuro.Idinku lọwọlọwọ isọdọtun dinku agbara iranti iranti, fa igbesi aye batiri fa, ati ilọsiwaju bandiwidi data, gbogbo awọn ẹya pataki ninu data-centric ode oni, awọn ẹrọ olumulo to ṣee gbe gaan.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹjọ-09-2022