Oludamọran imọ-ẹrọ ti RSM yoo pin pẹlu rẹ awọn anfani ti iyipo ati awọn ibi-afẹde magnetron planar?Ti a ṣe afiwe pẹlu awọn ibi-afẹde sputtering magnetron miiran, iyipo ati awọn ibi-afẹde sputtering planar ni idaduro awọn anfani ti iṣọkan aṣọ ibora ti o dara ti awọn ibi-afẹde ero onigun, ati pe o le mu lilo awọn ibi-afẹde pọ si nipasẹ awọn ọna meji wọnyi:
(1) Nigbati awọn ẹgbẹ meji (mẹrin) ti awọn ọfin annular lori dada ti ibi-afẹde de ijinle kan, mojuto ibi-afẹde (apakan oofa) le yiyi 45 ° ni ibatan si tube ibi-afẹde, nitorinaa awọn agbegbe miiran lori tube ibi-afẹde. ti a ko ti baje le ṣee lo;
(2) Nigbati awọn mojuto afojusun ti iyipo ati planar magnetron sputtering afojusun ti wa ni apẹrẹ bi a yiyi mojuto afojusun (awọn mojuto afojusun ti wa ni yiyi nigba sputtering), awọn dada ti awọn afojusun le ti wa ni boṣeyẹ sputtered pa Layer nipa Layer lai pits.Ni akoko yii, ibi-afẹde yoo ṣee lo ni imunadoko, ati pe iwọn lilo ti ibi-afẹde le de ọdọ 50% ~ 60% Nigbati ohun elo ibi-afẹde ba jẹ irin iyebiye, o han gbangba pe eyi jẹ pataki nla.
Nipa lilo ilana ti oofa pẹlu bata bata ni coaxial cylindrical magnetron sputtering afojusun lati yanju iṣoro ti aaye oofa opin, ibi-afẹde ọkọ ofurufu onigun le yipada si iyipo ati ibi-afẹde sputtering magnetron, Ibi-afẹde le mu iwọn lilo ti ibi-afẹde naa pọ si. lakoko ti o tọju aṣọ aṣọ ti o dara ti ibi-afẹde ọkọ ofurufu onigun Ki lati mu awọn anfani aje dara sii.
Akoko ifiweranṣẹ: Jul-04-2022