Laipe, ọpọlọpọ awọn olumulo ti beere nipa awọn anfani ati awọn aila-nfani ti imọ-ẹrọ ti a bo sputtering, Ni ibamu si awọn ibeere ti awọn alabara wa, ni bayi awọn amoye lati Ẹka Imọ-ẹrọ RSM yoo pin pẹlu wa, nireti lati yanju awọn iṣoro.Boya awọn aaye wọnyi wa:
1, Ailopin magnetron sputtering
Ti a ro pe ṣiṣan oofa ti n kọja nipasẹ awọn opin opo oofa ti inu ati ita ti magnetron sputtering cathode ko dọgba, o jẹ cathode ti ko ni iwọntunwọnsi magnetron sputtering cathode.Aaye oofa ti magnetron sputtering cathode lasan wa ni ogidi nitosi aaye ibi-afẹde, lakoko ti aaye oofa ti magnetron sputtering cathode ti ko ni iwọntunwọnsi n tan jade lati ibi-afẹde.Aaye oofa ti magnetron cathode lasan ṣe ihamọ pilasima ni wiwọ nitosi aaye ibi-afẹde, lakoko ti pilasima ti o wa nitosi sobusitireti ko lagbara pupọ, ati pe sobusitireti naa kii yoo ni bombard nipasẹ awọn ions ati awọn elekitironi ti o lagbara.Aaye oofa magnetron cathode ti kii ṣe iwọntunwọnsi le fa pilasima naa jinna si dada ibi-afẹde ki o fi sobusitireti naa bọmi.
2, Redio igbohunsafẹfẹ (RF) sputtering
Ilana ti fifipamọ fiimu idabobo: agbara odi ni a lo si adaorin ti a gbe si ẹhin ibi-afẹde idabobo.Ninu pilasima itujade didan, nigbati awo itọnisọna ion rere ba yara, o bombu ibi-afẹde idabobo ti o wa niwaju rẹ si sputter.Yi sputtering le nikan ṣiṣe ni fun 10-7 aaya.Lẹhin iyẹn, agbara rere ti o ṣẹda nipasẹ idiyele rere ti a kojọpọ lori ibi-afẹde idabobo aiṣedeede agbara odi lori awo adaorin, nitorinaa bombardment ti awọn ions rere agbara-giga lori ibi-afẹde idabobo ti duro.Ni akoko yii, ti polarity ti ipese agbara ba yipada, awọn elekitironi yoo bombard awo insulating ati yomi idiyele rere lori awo idabobo laarin awọn aaya 10-9, ti o jẹ ki o pọju odo.Ni akoko yii, yiyipada polarity ti ipese agbara le gbejade sputtering fun awọn aaya 10-7.
Awọn anfani ti sputtering RF: awọn ibi-afẹde irin mejeeji ati awọn ibi-afẹde dielectric le jẹ tutu.
3, DC magnetron sputtering
Ohun elo ti a bo sputtering magnetron mu aaye oofa pọ si ni ibi-afẹde cathode sputtering DC, nlo agbara Lorentz ti aaye oofa lati dipọ ati fa itọsi ti awọn elekitironi ninu aaye ina, mu anfani ijamba laarin awọn elekitironi ati awọn ọta gaasi, pọ si ionization oṣuwọn ti gaasi awọn ọta, mu ki awọn nọmba ti ga-agbara ions bombarding awọn afojusun ati ki o din ku awọn nọmba ti ga-agbara elekitironi bombarding awọn sobusitireti palara.
Awọn anfani ti planar magnetron sputtering:
1. Awọn iwuwo agbara afojusun le de ọdọ 12w / cm2;
2. Foliteji afojusun le de ọdọ 600V;
3. Awọn gaasi titẹ le de ọdọ 0.5pa.
Awọn aila-nfani ti sputtering magnetron planar: ibi-afẹde n ṣe ikanni sputtering ni agbegbe ojuonaigberaokoofurufu, etching ti gbogbo dada ibi-afẹde ko ni aiṣedeede, ati iwọn lilo ti ibi-afẹde jẹ 20% - 30% nikan.
4, Agbedemeji igbohunsafẹfẹ AC magnetron sputtering
O tọka si pe ni ohun elo itọka AC magnetron alabọde, nigbagbogbo awọn ibi-afẹde meji pẹlu iwọn kanna ati apẹrẹ ni a tunto ni ẹgbẹ nipasẹ ẹgbẹ, nigbagbogbo tọka si bi awọn ibi-afẹde ibeji.Wọn ti wa ni ti daduro awọn fifi sori ẹrọ.Nigbagbogbo, awọn ibi-afẹde meji ni agbara ni akoko kanna.Ni awọn ilana ti alabọde igbohunsafẹfẹ AC magnetron ifaseyin sputtering, awọn meji fojusi sise bi anode ati cathode ni Tan, ati awọn ti wọn sise bi anode cathode kọọkan miiran ni kanna idaji ọmọ.Nigbati ibi-afẹde ba wa ni agbara iyipo idaji odi, oju ibi-afẹde ti wa ni bombarded ati sputtered nipasẹ awọn ions rere;Ninu iyipo idaji rere, awọn elekitironi ti pilasima ti wa ni isare si dada ibi-afẹde lati yomi idiyele rere ti a kojọpọ lori dada idabobo ti dada ibi-afẹde, eyiti kii ṣe imukuro ina ti dada ibi-afẹde nikan, ṣugbọn tun yọkuro iṣẹlẹ ti “ anode disappearance”.
Awọn anfani ti agbedemeji igbohunsafẹfẹ ibi-afẹde ilọpo meji ifaseyin sputtering ni:
(1) Iwọn fifisilẹ giga.Fun awọn ibi-afẹde ohun alumọni, oṣuwọn ifisilẹ ti ifaseyin igbohunsafẹfẹ alabọde jẹ awọn akoko 10 ti itusilẹ ifaseyin DC;
(2) Ilana sputtering le jẹ iduroṣinṣin ni aaye iṣẹ ti a ṣeto;
(3) Awọn lasan ti "itanna" ti wa ni imukuro.iwuwo abawọn ti fiimu idabobo ti a pese silẹ jẹ awọn aṣẹ pupọ ti titobi ti o kere ju ti ọna sputtering ifaseyin DC;
(4) Iwọn otutu sobusitireti ti o ga julọ jẹ anfani lati mu didara ati ifaramọ ti fiimu naa;
(5) Ti ipese agbara ba rọrun lati baramu ibi-afẹde ju ipese agbara RF lọ.
5, Ifaseyin magnetron sputtering
Ninu ilana itọka, gaasi ifaseyin jẹ ifunni lati fesi pẹlu awọn patikulu sputtered lati gbe awọn fiimu alapọpọ.O le pese gaasi ifaseyin lati fesi pẹlu ibi-afẹde idapọmọra sputtering ni akoko kanna, ati pe o tun le pese gaasi ifaseyin lati fesi pẹlu irin sputtering tabi ibi-afẹde alloy ni akoko kanna lati ṣeto awọn fiimu agbopọ pẹlu ipin kemikali ti a fun.
Awọn anfani ti awọn fiimu idapọmọra magnetron ifaseyin:
(1) Awọn ohun elo ibi-afẹde ati awọn gaasi ifasẹyin ti a lo ni atẹgun, nitrogen, hydrocarbons, bbl, eyiti o rọrun nigbagbogbo lati gba awọn ọja mimọ-giga, eyiti o jẹ itara si igbaradi ti awọn fiimu idapọmọra mimọ-giga;
(2) Nipa ṣatunṣe awọn ilana ilana, kemikali tabi awọn fiimu ti kii ṣe kemikali ni a le pese, ki awọn abuda ti awọn fiimu le ṣe atunṣe;
(3) Awọn iwọn otutu sobusitireti ko ga, ati pe awọn ihamọ diẹ wa lori sobusitireti;
(4) O dara fun ibora aṣọ agbegbe ti o tobi ati rii iṣelọpọ ile-iṣẹ.
Ninu ilana ti ifaseyin magnetron sputtering, aisedeede ti sputtering yellow jẹ rọrun lati ṣẹlẹ, ni akọkọ pẹlu:
(1) O ti wa ni soro lati mura yellow fojusi;
(2) Awọn iṣẹlẹ ti ikọlu arc (iyọkuro arc) ti o ṣẹlẹ nipasẹ majele ibi-afẹde ati aisedeede ti ilana sputtering;
(3) Oṣuwọn sisọ sputtering kekere;
(4) Awọn iwuwo abawọn ti fiimu jẹ giga.
Akoko ifiweranṣẹ: Jul-21-2022